Scottish Optical Metrology社는 Scalar Technologies社와 함께 다층의 투명 박판 필름이나 코팅층의 두께를 측정하기 위한 새로운 장비를 개발하였다고 발표하였다.

광범위 스펙트럼 반사 간섭 (broad-spectrum reflection interferometry) 이론을 기반으로 한 ScalarGauge I 이라는 이 장비는 100 nm에서 120 마이크로미터까지 투명한 필름의 두께 측정 가능하다.

이 장비는 비접촉식으로 광원과 스펙트로미터, 프로브와 시스템을 연결하기 위한 컴퓨터와 분기된 Y자형의 광케이블로 구성되어 있다. 이 장비의 또 다른 특징은 설치와 측정이 간단하여 매우 짧은 설치 및 측정시간을 얻을 수 있다.

이 장비의 기본적인 측정원리를 간단하게 설명하면, 필름 위에 빛을 쏘았을 때 필름의 윗면에서 첫 번째 반사가 일어나며, 두 번째 반사가 필름의 아랫면에서 이뤄져 이 반사파들이 위상차를 일으키게 되는데, 이 위상차가 필름의 두께에 영향을 받게 되는 점을 이용한 것이다. 이 위상차에 의상 간섭 패턴 정보를 FFT(Fast Fourier Transformation)을 이용하여 분석하게 되면 필름의 두께에 해당하는 피크(peak)정보를 보여줄 수 있게 된다.

이 장비의 또 다른 기능으로 매우 복잡한 간섭 패턴을 분석할 수 있기 때문에 여러층의 필름으로 구성된 박판 필름에 대해서도 같은 원리를 이용하여 각층의 두께를 측정해 낼 수 있다는 장점을 가지고 있다고 발표되었다.

이 장비는 몇 가지 옵션을 가지고 있는데, 이 중 UV 광원과 할로겐 광원을 사용하는 것에 따라 측정범위가 달라지며, 특히 UV를 사용할 경우 최소 측정 두께가 100 nm에 이른다고 한다.

업체에서는 이 장비에 대하여 측정 가능한 필름은 매우 다양하며, 투명하더라도 가능하고 플라스틱 필름이나 폴리카본 광 렌즈, 반도체, 유리, 금속 등 일반적인 과학분야에 활용이 가능하다고 언급하였다.

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