테네시주의 오크리지에 위치한 미국 에너지성 산하의 오크리지 국립 연구소의 연구진은 기지 위에 균일하고 높은 품질을 가지는 필름을 증착시키기 위해 펄스 레이저 증착 기법과 장치를 개발했다고 발표했다. 이번에 개발된 기법은 기존의 기법보다 신속하고 경제적이라는 장점을 가지고 있다.

이 기법으로 증착된 필름은 기지의 조직과 온도, 입사율에 따라서 결정 또는 비정질의 조직을 만들어내는 것으로 알려졌다.

예를 들면, 결정 또는 비정질의 게르마늄 필름은 갈륨비소 화합물의 기지 위에서 증착되어야 하며, 증착 공정은 약 10-6Torr의 고 진공을 유지하는 챔버 속에서 진행되어야 하는 조건이 필요하다.

증착물을 성형하기 위한 소재의 가스 원(gaseous source)은 증착 챔버 속으로 펄스화된 초음파 분출물로 투사되는데, 이 투사체는 증착 챔버와 가스 분자 원을 내포하고 있는 비교적 고압의 저장 용기 사이에 위치하고 있는 펄스 밸브에 의해 만들어진다고 이번 프로젝트를 지휘한 오크리지 국립 연구소의 Ashok Choudhury 박사는 말했다.

이번에 개발된 공정과 장치의 특징은 기존의 증착 공정에 비해서 매우 높은 증착률을 달성할 수 있으며, 증착 면이 매우 유연할 뿐만 아니라 매우 균일한 증착 두께를 얻을 수 있는 장점을 가지고 있다.

이번에 개발된 시스템은, 기존에 공정 비용이 매우 비싼 분자 빔 증착 기법에 비해서 증착률이 100배 이상 높으며, 플라즈마를 이용한 화학적 기상 증착 기법에 버금가는 증착 속도를 가지고 있는 것으로 알려졌다. 이러한 높은 증착률은 증착 환경에 있어 다른 원소들로부터 증착물이 오염되는 결함을 최대한 줄인 결과라고 Ashok Choudhury 박사는 설명했다.

(Advanced Materials and Processes)