ÀϺ» °ÔÀÌ¿À ´ëÇÐ À̰øÇкÎÀÇ ÄÚÀÌÄÉ ¾ß½ºÈ÷·Î(á³ò®Ë¬ÚÏ) ±³¼ö¿Í °úÇбâ¼úÁøÈï±â±¸(JST) ERATO/SORST Æ÷Åä´Ð½º Æú¸®¸Ó ÇÁ·ÎÁ§Æ® ±¤±â´É ¹ßÇö ±×·ìÀº °øµ¿À¸·Î ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¼öÁö¿Í´Â È¥¿¬(ûèæß)Çϱâ Èûµç °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁø ³ª³ë ÀÔÀÚ¸¦ È¥¿¬ÇÑ Æç¸´À» ÅëÇØ ÀϹÝÀûÀÎ Çʸ§ Á¦Á¶ ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© º¹±¼ÀýÀÌ °ÅÀÇ ¾ø´Â °í¼º´É ±¤ÇÐ Çʸ§À» ¿¬¼ÓÇÏ¿© °¡°øÇÏ´Â ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿´´Ù.
Á¾·¡¿¡´Â ¼ö cm Å©±âÀÇ Çʸ§¸¸À» Á¦ÀÛÇÒ ¼ö ÀÖ¾úÀ¸³ª, À̹ø °³¹ß¿¡¼´Â Æø 40cm¡¿±æÀÌ ¾à 100mÀÇ ·ÑÀÌ Á¦À۵ƴÙ. ÀÌ·Î½á ½Ç¿ëȸ¦ À§ÇÑ Áß¿äÇÑ ±â¼ú °úÁ¦ ÇÑ °¡Áö°¡ ÇØ°áµÇ¾ú´Ù.
ÀÌ ±¤ÇÐ Àç·á´Â Æú¸®Ä«º¸³×ÀÌÆ® ¼öÁö¿¡ ±æÀÌ ¾à 200nm¡¿Æø 50~80nmÀÇ Ä§»ó SrCO3 ³ª³ë ÀÔÀÚ¸¦ ºÐ»ê½ÃŲ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ ³ª³ë ÀÔÀÚÀÇ ÀÛ¿ëÀ¸·Î º¹±¼ÀýÀÌ °ÅÀÇ ¾ø´Â ±¤ÇÐ Àç·á ÀÚü´Â »ó±â ¿¬±¸ ±×·ìÀÌ 2003³â¿¡ °³¹ßÇÏ¿© ÇÐȸ µî¿¡¼ ¹ßÇ¥ÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
±×·¯³ª ´ç½Ã¿¡´Â 2cm¡¿3~4cm Á¤µµÀÇ Çʸ§À» ¸¸µé ¼ö ÀÖÀ» »ÓÀ̾î¼, ½Ç¿ëÈ¿¡´Â ¹®Á¦°¡ ¸¹¾Ò´Ù. À̹ø ±â¼ú °³¹ß¿¡¼´Â ÀÌ ³ª³ë ÀÔÀÚ¸¦ Á¦ÀÛÇÑ ¾÷ü°¡ ³ª³ë ÀÔÀÚ¿¡ ÄÚÆÃ Ã³¸®¸¦ ½Ç½ÃÇÔÀ¸·Î½á ³ª³ë ÀÔÀÚ¸¦ ÀÀÁý½ÃŰÁö ¾Ê°í ¼öÁö¿¡ È¥¿¬ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù. ÀÌ ¹æ¹ý¿¡ ÀÇÇØ È¥¿¬ »çÃâ ¼ºÇüÀ̶ó´Â ÀϹÝÀûÀÎ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀ¸·Î ±ä ±æÀÌÀÇ ·ÑÇʸ§À» Á¦ÀÛÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù. Çʸ§ÀÇ µÎ²²´Â 40umÀÌ´Ù.
º¹±¼ÀýÀº Åõ¸í ¼öÁö µîÀ» Åë°úÇÏ´Â Æí±¤ÀÌ »ê¶õÇÏ´Â Çö»óÀ» ¸»ÇÑ´Ù. À̰ÍÀº ¼öÁö¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â °í¸® ¸ð¾çÀÇ ºÐÀÚ°¡ ¹«Áú¼ÇÑ »óŰ¡ ¾Æ´Ñ °æ¿ì¿¡ ÀϾ±â ½±´Ù. ÀϹÝÀûÀÎ »çÃâ ¼ºÇü ¹æ¹ýÀ¸·Î Çʸ§À» Çü¼ºÇϸé, ¼öÁöÀÇ ºÐÀÚ°¡ ÀÏÁ¤ ¹æÇâÀ¸·Î ¹èÇâÇÏ¿© º¹±¼ÀýÀÌ ÀϾÙ.
ÇöÀç ¾×Á¤ ÆÐ³ÎÀÇ Æí±¤ÆÇ Ç¥¸é º¸È£¸¦ À§ÇØ ¾ç¸é¿¡ ºÙÀÌ´Â TAC Çʸ§ÀÇ °æ¿ì¿¡´Â, ÀÌ·¯ÇÑ º¹±¼Àý Çö»óÀ» ¸·±â À§ÇØ Æú¸®¸Ó¸¦ ¿ëÁ¦¿¡ ³ì¿© ³ÐÀº ÆÇ¿¡ ¾ã°Ô Àü°³ÇÑ ÈÄ, ¿ëÁ¦¸¦ Èֹ߽ÃÄÑ Çʸ§À» Á¦Á¶ÇÏ´Â ¿ë¾×À¯¿¬(éÁäûêüæÎ) Á¦¸·¹ýÀÌ ÀϹÝÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ Á¦Á¶¹ýÀÇ °æ¿ì ´ëÇü Á¦Á¶ ÀåÄ¡°¡ ÇÊ¿äÇÒ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ¿ëÁ¦¸¦ ¸Å¿ì õõÈ÷ Èֹ߽Ãų Çʿ䰡 Àֱ⠶§¹®¿¡ »ý»ê¼ºÀÌ ¶³¾îÁö´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç, ¿ëÁ¦¸¦ Àçȸ¼öÇØ¾ß ÇÒ Çʿ䰡 ÀÖ´Ù.
À̹ø¿¡ ½ÃÀÛµÈ ±¤ÇÐ Çʸ§Àº TAC Çʸ§°ú ½Ã°¢ º¸»ó Çʸ§ µî ¾çÈ£ÇÑ ±¤ÇÐÀû Ư¼ºÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â Çʸ§ÀÇ ´ëü Àç·á·Î¼, Á¦Á¶ºñ¿ë Àý°¨ÀÇ °¡´É¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ °°Àº ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇÏ¿© 100nm ÀüÈÄÀÇ ³ª³ë ÀÔÀÚ¸¦ ¼öÁö Áß¿¡ ºÐ»ê½ÃŰ´Â °Íµµ °¡´ÉÇÏ´Ù.
(KORDIC)
|