ÇɶõµåÀÇ ±¹°¡±â¼ú¿¬±¸¼¾ÅÍ(VTT, Research Centre of Finland)°¡ »õ·Î¿î ģȯ°æ ÆÐŰ¡¿ë ÄÚÆÃ±â¹ýÀ» °³¹ßÇß´Ù. ƯÈ÷ ½Äǰ°ú ¾àǰÀÇ ÆÐŰ¡¿¡ ÀûÇÕÇÑ ÀÌ ÄÚÆÃ¹ýÀº ¿ÏÀüÇÏ°Ô ÀçȰ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ¹ÐÆóÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¾ã°í, °¡º¿î µî »õ·Î¿î ¹æ¹ýÀ» Á¦½ÃÇϰí ÀÖ´Ù.
¿øÀÚÃþ ÁõÂø(ALD, atomic layer deposition)¹ýÀ» »ç¿ëÇÑ ÀÌ ÄÚÆÃ¹ýÀº °¡½º Åõ°ú ÀúÇ×¼ºÀÌ ¸Å¿ì ³ôÀ¸¸ç, ƯÈ÷ ½Äǰ°ú ¾àǰ¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù. ALD ±â¼úÀº 1970³â´ëºÎÅÍ Çɶõµå¿¡¼ °³¹ßµÇ¾î ¿ÔÀ¸¸ç, ÇöÀç±îÁö ÃʼÒÇü ÀüÀÚ°øÇп¡ ÁַΠȰ¿ëµÇ¾î ¿Ô´Ù.
ALD ±â¼úÀº ±âÁ¸ÀÇ ¹è¸®¾î Àç·áº¸´Ù ´õ ¾ã°í, °¡º¿î ÆÐŰ¡ Àç·á¸¦ ¸¸µå´Â °ÍÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. ¹è¸®¾î Àç·á´Â ½À±â¸¦ ¸·°í, °ÇÁ¶µÇ°Å³ª »êȵǴ °ÍÀ¸·ÎºÎÅÍ Á¦Ç°À» º¸È£Çϱâ À§ÇØ ÆÐŰ¡ ³»ºÎ·Î ħÅõÇØ¿À´Â ¿©·¯ ºÐÀÚµéÀ» ¸·´Â ±â´ÉÀ» ÇÏÁö¸¸, ¾Ë·ç¹Ì´½ Çʸ§ µîÀº ÀçȰ¿ë¿¡ °É¸²µ¹ÀÌ µÇ°ï ÇÏ¿´´Ù.
ALD ±â¼úÀº ¹è¸®¾îÀç ¾øÀÌ Á¦Ç°À» º¸È£ÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ ¿øÀÚÀç »ç¿ë·®À» Å©°Ô ÁÙÀ̰í, ÀçȰ¿ëÀ» ¿ÏÀüÈ÷ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »õ·Î¿î ÆÐŰ¡À» ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù.
ALD ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÏ¸é ¾Ë·ç¹Ì´½ÀÇ »ç¿ë¾çÀÌ ÇöÀçÀÇ ÀǾàǰ ºí¸®½ºÅÍ ÆÑ(blister pack)¿¡ ºñÇØ 500~1,000ºÐÀÇ 1Á¤µµ·Î ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. ¾Ë·ç¹Ì´½ÀÇ »ç¿ëÀº ÆÐŰ¡ Àç·áÀÇ ÀçȰ¿ë¼º¿¡ ¹®Á¦°¡ µÉ»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ±× Á¦Á¶¿¡ ¸¹Àº ¿¡³ÊÁö¸¦ ¿ä±¸ÇÑ´Ù.
ALD ÄÚÆÃÀº ¾ã°í, ÇÉ È¦·ÎºÎÅÍ ÀÚÀ¯·Î¿ì¸ç, ¶ÇÇÑ ÄÚÆÃµÈ ¹°ÁúÀÇ ÇüŸ¦ ±×´ë·Î À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ALD ÄÚÆÃÀÇ µÎ²²´Â °ÅÀÇ ¿øÀÚ ´ÜÀ§ÀÇ Á¤¹ÐÇÔÀ» °¡Áø´Ù. ÀÌó·³ ¾ãÀº Çʸ§ µÎ²²(¾à 25 ³ª³ë¹ÌÅÍ(nm=10-9m))·Î ÀÎÇØ ±× º¸È£¸·Àº ½±°Ô ±¸ºÎ·¯Áö¸ç ¸Å¿ì À¯¿¬ÇÏ´Ù.
ALD ±â¼ú·Î ¸¸µç ¹ÙÀÌ¿À¸Å½º ÆÐŰ¡ Àç·á´Â °ÇÁ¶½Äǰ°ú ÀǾàǰ¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ºí¸®½ºÅÍ ÆÐŰ¡°ú °°Àº Á¤µµÀÇ °¡½º Åõ°ú¼ºÀ» °¡Áø´Ù.
¶ÇÇÑ ALD ÄÚÆÃÀ» »ç¿ëÇÏ¸é ÆÐŰ¡ Àç·á¿¡ ´Ù¸¥ ¿©·¯ °¡Áö ±â´Éµé Áï, ¹°ÀÌ ½º¸çµå´Â °ÍÀ» ¸·°Å³ª, »ê¼Ò, ½À±â ¶Ç´Â ±â¸§À̳ª ³¿»õ µîÀ¸·ÎºÎÅÍ º¸È£Çϰí, ³ì°ú ¹ÚÅ׸®¾Æ·ÎºÎÅÍ Ç¥¸éÀ» º¸È£ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉµéÀ» °¡Áú ¼ö ÀÖ´Ù.
±×¸®°í ALD ±â¹ýÀº ÆÐŰ¡ Àç·áÀÇ ¾çÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î ÁÙÀÓÀ¸·Î½á ¼ö¼Ûºñ¿ë°ú ¿øÀÚÀç ºñ¿ëÀ» Àý¾àÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î ALD ÄÚÆÃ¹ýÀÌ Àû¿ëµÇ¸é ÃÊÄݸ´ ÆÐŰ¡¿¡¼ ¾Ë·ç¹Ì´½ÀÌ ÄÚÆÃµÈ Á¾À̸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ µÈ´Ù.
´Ù¸¥ ¹Ú¸·±â¹ý ¶ÇÇÑ ¾ãÀº ÄÚÆÃÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖÁö¸¸, °¡½ºÅõ°ú¼ºÀÌ ³ô°í, Àç·á°¡ »»»»ÇØÁ® ½±°Ô ±úÁú ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÏÁ¤ ¼öÁØÀÇ °¡½ºÅõ°ú¼ºÀ» ¾ò±â À§Çؼ´Â µÎ²¨¿î Çʸ§À» »ç¿ëÇØ¾ß¸¸ ÇÑ´Ù. ALD ±â¼úÀº ¼®À¯¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÏ´Â ÇÃ¶ó½ºÆ½ÀÇ Çʿ並 °¨¼Ò½ÃŰ¸é¼ »ý¹°°íºÐÀÚ¹°ÁúÀÇ ¼º°ú¿Í ³»½À ´É·ÂÀ» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.
1970³â¿¡ Çɶõµå¿¡¼ °³¹ßµÈ ALD ¹ÝÀÀ±â´Â ¹Ú¸·ÀÇ ÈÇÐÁ¶¼ºÀ» Á¶ÀýÇϱâ À§ÇÑ ÀåÄ¡·Î, À̰ÍÀº ¿øÀÚ´ÜÀ§ÀÇ Á¤È®µµ¸¦ °¡Áö´Â Çʸ§À» ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù. »êȾ˷ç¹Ì´½ ÄÚÆÃÀÇ ±âº» ¹°ÁúÀº Æ®¸®¸ÞÆ¿ ¾Ë·ç¹Ì´½(trimethyl aluminium)°ú ¹°ÀÌ´Ù. ÇöÀç±îÁö ÀÌ ¹æ¹ýÀº ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ Àü¹®±â¼úÁ¦Ç°À» ¸¸µå´Â °øÁ¤ºÐ¾ß¿¡ »ç¿ëµÇ¾î ¿Ô´Ù.
Á¶³ª¸® ±âÀÚ/olivelina@paran.com
|